熱膨脹儀主要分為光干涉法膨脹儀和機(jī)械熱膨脹儀，光干涉法為光學(xué)非接觸、絕對測量、測量準(zhǔn)確度高。但造價昂貴、儀器結(jié)構(gòu)及操作都很復(fù)雜。機(jī)械式法熱膨脹儀的優(yōu)點(diǎn)是，使用容易、結(jié)構(gòu)簡單適用各種形狀的樣品等。缺點(diǎn)是，機(jī)械式式熱膨脹儀受樣品架、檢測桿等夾雜物的影響，因此無法避免這些夾雜物對校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)樣品的絕對精度和誤差的影響。

Super LIX-R非接觸法激光熱膨脹系統(tǒng)概述

Super LIX-R非接觸法激光熱膨脹儀系統(tǒng)是采用線性偏轉(zhuǎn)氦氖激光器的雙光路型邁克爾遜干涉儀的高靈敏度非接觸式熱膨脹儀。這種高精度膨脹儀是基于激光波長對與樣品兩端接觸的反射面之間的位移進(jìn)行絕對熱膨脹測量。

該測定方法符合JIS(JIS R3251-1995)的低膨脹玻璃的熱膨脹系數(shù)測定方法，適合于用于熱膨脹系數(shù)低至5ppb/℃（即 5 x 10^-9/K）級別零膨脹材料的測量，通過對實(shí)際樣品測試結(jié)果分析：在30℃時三次測得的  熱膨脹系數(shù)分別為:5 x 10^-9/K,4 x 10^-9/K,4 x 10^-9/K，在10℃，20℃，30℃，40℃，50℃的重復(fù)性均優(yōu)于5 x 10^-9/K。（詳見P36-41）

特點(diǎn)：

1）通過在系統(tǒng)內(nèi)部加入抗振機(jī)構(gòu)，可以防止振動干擾的影響，可以在穩(wěn)定使用的環(huán)境下進(jìn)行一般分析電子天平（分辨率0.01mg）的測量。

2）根據(jù)激光波長（632.8nm）測量樣品的位移。光學(xué)元件的優(yōu)化消除了雜散光，提高了邊緣信號的信噪比。特殊位移校準(zhǔn)無需測量或操作。

3）圖像傳感器檢測干涉條紋，對圖像進(jìn)行處理，計算膨脹率。

4) 通過用絕緣結(jié)構(gòu)的低溫恒溫器控制樣品和樣品周圍區(qū)域的溫度，可以將溫度控制在每分鐘 0.01°C。

5) 自動樣品設(shè)置夾具可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的樣品設(shè)置，無需操作員經(jīng)過特殊培訓(xùn)。

夾具的樣品設(shè)置是手動的。

Super LIX-R 參數(shù)：

溫度測量范圍：0~50℃ （采用高精度恒溫循環(huán)系統(tǒng)）

熱膨脹檢測系統(tǒng)：邁克爾遜型激光干涉儀

光路：雙光路

樣品尺寸：Φ5mm 或Φ5±0.5mm x 長度12-20mm

      標(biāo)準(zhǔn)樣品尺寸：φ5mm x 長度20mm

 兩端應(yīng)進(jìn)行 SR（球形）處理，以免頂端變得不均勻。

    表面平均粗糙度：平均粗糙度優(yōu)于0.8a

測量精度：CTE值 5x10^-9/K 或更低（基于標(biāo)準(zhǔn)尺寸的低膨脹材料）

重復(fù)性：CTE值 5x10^-9/K 或更低（基于標(biāo)準(zhǔn)尺寸的低膨脹材料）

分辨率：＜0.2nm

顯示：圖形強(qiáng)度

激光器：激光類型：He-Ne 氣體激光器（連續(xù)振蕩）

     功率：5mW  (IEC 60825-1 class 3B)

     光源波長：632.8nm

熱電偶：PT-100 鉑熱電偶 JIS C 1604-1997

測試氣氛：低壓He（100Pa）

升降溫速率：0.01℃/min ~ 1.5℃/min

                        高精度測試推薦使用0.1℃/min

溫度顯示分辨率：0.001℃

測溫精度：精度符合 JIS-Class A (±0.15°C at 0 °C)